我們在(zai)選(xuan)擇壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)時(shi)候我們要(yao)考慮他的(de)綜(zong)合精度,而(er)哪些因(yin)素會(hui)造(zao)成(cheng)壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)精度的(de)誤(wu)差呢?其(qi)實(shi)造(zao)成(cheng)傳感(gan)器(qi)誤(wu)差的(de)因(yin)素(su)有(you)很多(duo),下(xia)面(mian)我們註(zhu)意說四個無法(fa)避免(mian)的(de)誤(wu)差,這是傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)初(chu)始(shi)誤(wu)差。
1.線性(xing)誤(wu)差:這是壹個對(dui)壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)初始(shi)誤(wu)差影響(xiang)較小的(de)因(yin)素(su),該(gai)誤(wu)差的(de)產(chan)生(sheng)原因(yin)在於矽片的(de)物(wu)理(li)非(fei)線性(xing),但對(dui)於(yu)帶放大(da)器(qi)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi),還應(ying)包(bao)括放大(da)器(qi)的(de)非(fei)線性(xing)。線性(xing)誤(wu)差曲線可以是凹(ao)形(xing)曲(qu)線,也可以是凸(tu)形(xing)曲(qu)線稱重(zhong)傳感(gan)器。
2.偏移(yi)量誤(wu)差:由於壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)在整(zheng)個壓(ya)力範(fan)圍內(nei)垂(chui)直偏移(yi)保持恒(heng)定,因(yin)此(ci)變(bian)換(huan)器擴(kuo)散和(he)激(ji)光(guang)調(tiao)節修(xiu)正(zheng)的(de)變(bian)化將(jiang)產(chan)生偏移(yi)量誤(wu)差。
3.靈(ling)敏度誤(wu)差:產生誤(wu)差大(da)小與壓(ya)力成(cheng)正比(bi)。如(ru)果設(she)備的(de)靈(ling)敏度高於(yu)典(dian)型值,靈(ling)敏度誤(wu)差將(jiang)是壓(ya)力的(de)遞(di)增函數。如果(guo)靈(ling)敏度低(di)於(yu)典(dian)型值,那(na)麽靈(ling)敏度誤(wu)差將(jiang)是壓(ya)力的(de)遞(di)減(jian)函(han)數。該(gai)誤(wu)差的(de)產(chan)生(sheng)原因(yin)在於擴(kuo)散過(guo)程(cheng)的(de)變(bian)化。
4.滯(zhi)後誤(wu)差:在大(da)多(duo)數情(qing)形(xing)中(zhong),壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)滯(zhi)後誤(wu)差*可以忽略(lve)不計,因為矽片具(ju)有(you)很高的(de)機(ji)械(xie)剛(gang)度。壹般(ban)只需在壓(ya)力變(bian)化很大(da)的(de)情(qing)形(xing)中(zhong)考慮滯(zhi)後誤(wu)差。
壓(ya)力傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)這(zhe)個四個誤(wu)差是無(wu)法(fa)避免(mian)的(de),我們只能選(xuan)擇高精(jing)度的(de)生(sheng)產(chan)設(she)備,利用(yong)*來(lai)降低(di)這(zhe)些誤(wu)差,還可以在出廠的(de)時(shi)候進(jin)行壹點的(de)誤(wu)差校準,盡大(da)的(de)可能來(lai)降低(di)誤(wu)差以滿(man)足(zu)客(ke)戶(hu)的(de)需(xu)要(yao)。